Классический форум-трекер
canvas not supported
Нас вместе: 4 232 197

В.Ю. Васильев | Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем (2023) [PDF]


 
 
RSS
Начать новую тему   Ответить на тему    Торрент-трекер NNM-Club -> Научная и техническая литература -> Учебники
Автор Сообщение
Telebalt ®
RG Книги
Меценат
Стаж: 12 лет 9 мес.
Сообщений: 8395
Ratio: 323.542
Поблагодарили: 1235197
100%
Откуда: Балтийск
russia.gif
В.Ю. Васильев | Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем (2023) [PDF]
Автор: В.Ю. Васильев
Издательство: НГТУ
ISBN: 978-5-7782-4926-4
Жанр: Электроника
Формат: PDF
Качество: Изначально электронное (ebook)
Иллюстрации: Цветные и черно-белые

Описание:
Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных предприятиях микроэлектронной отрасли. Рассмотрена совокупность вопросов организации и использования в серийном производстве субмикронных интегральных микросхем (ИМС) методов непосредственного производственного (in-line) контроля тонкопленочных материалов – основы современных ИМС. Приведены примеры приборов контроля и возможностей их применения для характеризации процессов получения и свойств тонких пленок. Рассмотрены решения технологических задач с по мощью in-line методов на примере важнейшего узла ИМС – диэлектрической планаризируемой изоляции между транзисторным уровнем (FEOL) и первым уровнем металлизации (BEOL) микросхем. Проанализирован подход к квалификации технологических процессов/оборудования для создания тонких пленок в производстве, изложены примеры проведения исследований технологической направленности. Показаны необходимость и возможности использования вместе с in-line методами также методов контроля at-line (в лабораториях вне производства) и off-line (в специализированных аналитических организациях). В пособии использованы и пояснены многочисленные англоязычные термины, принятые в технологиях и производстве интегральных микросхем.

Скриншоты:


Время раздачи: Пн.-Пт. с 19.00 до 7.00, Сб.-Вс. 2/24 (минимум до появления первых 3-5 скачавших)
[NNMClub.to]_Metodyi i vozmozhnosti in-line kontrolya tonkoplenochnyih materialov v proizvodstve submikronnyih integral'nyih mikroshem 2023.pdf.torrent
 Торрент: Платиновая раздача  Зарегистрирован
 
Скачать


Примагнититься
 Зарегистрирован:   26 Фев 2024 19:24:47
 Размер:   9.97 MB  (
 Рейтинг:   4.8 (Голосов: 15)
 Поблагодарили:   66
 Проверка:   Оформление проверено модератором 26 Фев 2024 19:25:34
Как cкачать  ·  Как раздать  ·  Правильно оформить  ·  Поднять ратио!  
Показать сообщения:   
Начать новую тему   Ответить на тему    Торрент-трекер NNM-Club -> Научная и техническая литература -> Учебники Часовой пояс: GMT + 3
Страница 1 из 1